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产品应用
涂胶显影
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研磨减薄
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清洗镀膜
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高温炉管
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键合刻蚀
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检测设备
检测设备
双臂SR8220-1023机器人在涂胶显影设备工艺应用方案
双臂SR8220-1023机器人在涂胶显影设备工艺应用方案
匀胶DD马达在涂胶显影设备应用工艺方案
匀胶DD马达在涂胶显影设备应用工艺方案

双臂SR8220-1023机器人在涂胶显影设备工艺应用方案

所属行业
涂胶显影
设备名称
涂胶显影设备工艺
行业应用
大气环境半导体晶圆高速搬运、适⽤于各种半导体设备、 EFEM、sorter、涂胶显影设备、清洗设备、检测设备等
方案特点
使用NIDEC双臂SR8220-1023机器人、真空吸附陶瓷手指、兼容4-12寸晶圆、可以配置对射以及反射式mapping

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方案视频封面
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