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半导体专用DD马达

半导体专用DD马达

DDA99
 

高速度、高响应

水冷结构、低温升

无背隙、高刚性

结构简单、便携安装

DDA系列马达半导体行业应用:晶圆涂胶、显影、清洁、刻蚀等工艺

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