该系列为三轴晶圆寻边器，采用直线电机驱动，实现高速，高精度，高刚性，高效率的优势；
搭载高分辨率相机，圆心拟合计算晶圆圆心，实现快速标定，位置修正；
产品洁净度等级为ISOClass1，应用范围包含半导体、光电等产业；
可在2.5s内完成晶圆对准、校准、晶圆中心与角度等补正动作，同时重复定位精度可达±0.025mm。
