双臂翻转轴晶圆机器人

双臂翻转轴晶圆机器人

SR8220R-1024
 

采用伺服电机作为翻转轴

翻转轴可根据要求调节速度

伺服电机绝对值编码器

可以实现真空吸附、夹持、伯努利形式的翻转 

结构灵活,单臂、双臂翻转都可以实现

翻转轴晶圆机器人SR8220R-1024系列适合的晶圆制造的工艺有: 晶圆的涂胶、贴膜、激光打标、清洗、研磨、去胶、显影、刻蚀等

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技术参数
尺寸结构
晶片传感器
资料目录
CAD图纸
使用说明书
项⽬规范
结构5轴(使用交流伺服电机与ABS编码器) Z轴:带制动器的电机
晶圆尺寸2寸~12寸晶圆
⼯作范围R1轴-302-+321mm
R2轴-302-+321mm
Z轴300mm/500mm
翻转轴-10~180deg
θ轴340deg
最⼤速度R1轴5.76 rad/sec
R2轴5.76 rad/sec
Z轴450 mm/sec
θ轴6.97 rad/sec
手指间距60mm/80mm
最大有效负荷1kg(包含⼿指的重量)
重复精度±0.1mm(基于ISO 9283)
本体重量80kg
洁净等级ISO.Class1
噪音等级
80分贝或者更低
介电强度AC 1500V,持续1分钟(主电源与地面之间)
绝缘电阻
1M Qor以上(DC500V)
机器人材质铝合金
EE(End Effector 末端执行器)陶瓷、碳纤维、铝合金等(根据要求定制)
工作电压AC220V(1.2KVA)、DC24V( 1.2A) 、DC48V(3A)
通讯方式
EtherNet / RS232
气源
正压:0.4~0.5MPa    负压:低于-70KPa
控制器SC5000

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