晶圆机器人在检测设备工艺应用

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产品应用

晶圆机器人在检测设备工艺应用

所属行业

晶圆机器人在检测设备工艺应用

设备名称

晶圆直线电机平台

行业应用

晶圆的检测、划线、切割、分拣、焊接、封装键合等工艺

使用环境

结构

配置说明

方案特点

直线电机、DD马达结构，大理石安装底座，高速度、高响应，适用于2-12寸的晶圆检测

方案详情

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