双臂晶圆机器人在清洗镀膜设备工艺应用

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产品应用

双臂晶圆机器人在清洗镀膜设备工艺应用

所属行业

双臂晶圆机器人在清洗镀膜设备工艺应用

设备名称

双臂晶圆机器人

行业应用

大气环境半导体晶圆⾼速搬运、适用于各种半导体设备、EFEM、sorter、涂胶显影设备、清洗设备、检测设备等

使用环境

结构

配置说明

方案特点

使用NIDEC双臂晶圆机器人、移载轴使用直线电机长度6M、高速高精度、非接触、无摩擦、支持水平以及壁挂式安装、兼容4-12寸晶圆、支持翻转以及高移动轴定制要求

方案详情

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