SR8220-1024带翻转机器人在研磨减薄设备工艺应用

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产品应用

SR8220-1024带翻转机器人在研磨减薄设备工艺应用

所属行业

SR8220-1024带翻转机器人在研磨减薄设备工艺应用

设备名称

SR8220-1024带翻转机器人

行业应用

大气环境半导体晶圆高速搬运、适⽤于各种半导体设备、 EFEM、sorter、涂胶显影设备、清洗设备、检测设备等

使用环境

结构

配置说明

方案特点

采用2ARM构造增大了搬运范围实现晶圆的高速传输和双片同取放确保了超高的直线精度 ARM和Z轴的各种组合可以满足对应各种装置的需求可同时适用于2~12英寸的晶圆搬送

方案详情

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