SR8220-1024机器人在研磨减薄设备工艺应用

CN EN

产品应用

SR8220-1024机器人在研磨减薄设备工艺应用

所属行业

研磨减薄设备工艺

设备名称

SR8220-1024机器人

行业应用

大气环境半导体晶圆高速搬运、适⽤于各种半导体设备、 EFEM、sorter、涂胶显影设备、清洗设备、检测设备等

使用环境

结构

配置说明

方案特点

使用NIDEC双臂SR8220-1024机器人带翻转取放片支持气旋、夹持、真空吸附结构可以配置对射以及反射式mapping 兼容4-12寸晶圆以及超薄型晶圆片

方案详情

方案视频封面

方案视频封面

期待为您提供帮助

线上技术服务，解决产品使用中的问题

400 807 1566

服务热线