匀胶DD马达在涂胶显影设备应用工艺方案

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产品应用

匀胶DD马达在涂胶显影设备应用工艺方案

所属行业

晶圆涂胶、显影、清洁、刻蚀

设备名称

涂胶显影设备工艺方案

行业应用

晶圆涂胶、显影、清洁、刻蚀等工艺

使用环境

结构

配置说明

方案特点

高速度、高响应水冷结构、低温升无背隙、高刚性结构简单、便携安装

方案详情

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